氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸口法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。氦质谱检漏仪测试高纯气体管道要确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。苏州自动氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪在压力容器中喷氦法检漏应该注意以下几个问题：1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于喷口所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷口喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时，应先把一个点盖住，在对另一点用较细的喷口进行喷氦。5、当喷口喷在某一点时，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。6、检出漏孔后，还应再做几次复检。7、检漏场地要有良好的通风条件，但也不能太大，不应影响喷口喷出的氦气气流的方向。氦质谱检漏仪工作原理氦质谱检漏仪要存放到阴凉、通风、没有漏雨、火灾等危险的房间。

氦质谱检漏仪开机步骤：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，戴表压强的质谱室表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对被检件喷氦检漏。检漏完毕。

氦质谱检漏仪有哪些结构？电气系统，氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。质谱室，形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。氦质谱检漏仪由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其普遍应用。

氦质谱检漏仪技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。氦质谱检漏仪捡漏方法以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。苏州自动氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪灵敏度降低可以先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件。苏州自动氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪的结构解析：真空系统，真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。辅助真空系统的配置，在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。苏州自动氦质谱检漏仪工作原理

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